Máy tạo chân không chip đơn CTA(B)-B có hai cổng đo

Phân tích hiệu suất hút của máy tạo chân không

1. Các thông số hoạt động chính của máy tạo chân không

① Tiêu thụ không khí: đề cập đến lưu lượng qv1 chảy ra khỏi vòi phun.

② Tốc độ dòng hút: là tốc độ dòng khí qv2 được hít vào từ cổng hút. Khi cổng hút mở ra khí quyển, tốc độ dòng hút của nó là lớn nhất, được gọi là tốc độ dòng hút tối đa qv2max.

③ Áp suất tại cổng hút: ghi là Pv. Khi cổng hút đóng hoàn toàn (ví dụ đĩa hút hút phôi), tức là khi lưu lượng hút bằng 0 thì áp suất trong cổng hút thấp nhất, được ghi là Pvmin.

④ Thời gian đáp ứng hút: Thời gian đáp ứng hút là một thông số quan trọng biểu thị hiệu suất làm việc của máy tạo chân không, đề cập đến thời gian từ khi mở van đảo chiều đến khi đạt được mức độ chân không cần thiết trong vòng hệ thống.

2. Các yếu tố chính ảnh hưởng đến hiệu suất của máy tạo chân không

Hiệu suất của máy tạo chân không liên quan đến nhiều yếu tố, chẳng hạn như đường kính tối thiểu của vòi phun, hình dạng và đường kính của ống co và ống khuếch tán, vị trí tương ứng của nó và áp suất của nguồn khí. Hình 2 là biểu đồ thể hiện mối quan hệ giữa áp suất hút vào, tốc độ dòng hút, lượng không khí tiêu thụ và áp suất cung cấp của máy tạo chân không. Nó cho thấy rằng khi áp suất cung cấp đạt đến một giá trị nhất định, áp suất đầu vào hút thấp và khi đó tốc độ dòng hút đạt mức tối đa. Khi áp suất cung cấp tiếp tục tăng, áp suất đầu vào hút tăng và sau đó tốc độ dòng hút giảm.

① Phân tích đặc tính lưu lượng hút tối đa qv2max: Đặc tính qv2max lý tưởng của máy tạo chân không yêu cầu qv2max ở giá trị tối đa trong phạm vi áp suất cung cấp chung (P01 = 0,4-0,5 MPa) và thay đổi trơn tru với P01.

(2) Phân tích đặc tính áp suất Pv tại cổng hút: Đặc tính Pv lý tưởng của máy tạo chân không yêu cầu Pv ở giá trị tối thiểu trong phạm vi áp suất cung cấp chung (P01 = 0,4-0,5 MPa) và thay đổi trơn tru với Pv1.

(3) Trong điều kiện tiếng ồn đầu vào hút được đóng hoàn toàn, mối quan hệ giữa áp suất Pv tại đầu vào hút và tốc độ dòng hút trong các điều kiện cụ thể được thể hiện trên Hình 3. Để có được mối quan hệ phù hợp lý tưởng giữa áp suất ở đầu vào hút và tốc độ dòng hút, máy tạo chân không nhiều tầng có thể được thiết kế để kết hợp nối tiếp.