Cảm biến áp suất bán dẫn thường được sử dụng sử dụng wafer silicon loại N làm chất nền. Đầu tiên, wafer silicon được tạo thành một phần chịu căng thẳng đàn hồi với một hình học nhất định. Ở phần chịu ứng suất của wafer silicon, bốn điện trở khuếch tán loại P được thực hiện dọc theo các hướng tinh thể khác nhau, và sau đó một cây cầu Wheatstone bốn cánh được hình thành với bốn điện trở này. Theo tác động của lực bên ngoài, những thay đổi của giá trị điện trở trở thành tín hiệu điện. Cầu Wheatstone này có hiệu ứng áp suất là trái tim của cảm biến áp suất, thường được gọi là cầu Piezoresistive (như trong Hình 1). Các đặc điểm của cây cầu Piezoresistive như sau: Các giá trị điện trở của bốn cánh tay của cây cầu bằng nhau (tất cả R0); Hiệu ứng piezoresistive của các cánh tay liền kề của cây cầu có giá trị và ngược lại trong dấu hiệu; Hệ số nhiệt độ điện trở của bốn cánh tay của cây cầu là như nhau và chúng luôn ở cùng nhiệt độ. Trong hình. 1, R0 là giá trị điện trở mà không căng thẳng ở nhiệt độ phòng; RT là sự thay đổi gây ra bởi hệ số nhiệt độ của điện trở (α) khi nhiệt độ thay đổi; Υ rΔ là sự thay đổi của điện trở gây ra bởi biến dạng (ε); Điện áp đầu ra của cầu là U = I0 Rδ = I0RGδ (cầu nguồn không đổi).

Trong đó I0 là dòng điện dòng không đổi và E là điện áp nguồn điện áp không đổi. Điện áp đầu ra của cây cầu Piezoresistive tỷ lệ thuận với biến dạng (ε) và không liên quan gì đến RT do hệ số nhiệt độ của điện trở, làm giảm đáng kể nhiệt độ của cảm biến. Cảm biến áp suất bán dẫn được sử dụng rộng rãi nhất là một cảm biến để phát hiện áp suất chất lỏng. Cấu trúc chính của nó là một viên nang làm bằng silicon đơn tinh thể (như trong Hình 2). Cơ hoành được làm thành một cốc, và đáy cốc là phần mang lực bên ngoài, và cây cầu áp lực được làm dưới đáy cốc. Bệ vòng được làm bằng cùng một vật liệu tinh thể đơn silicon, và sau đó cơ hoành được liên kết với bệ. Loại cảm biến áp suất này có những ưu điểm của độ nhạy cao, thể tích nhỏ và độ rắn, và đã được sử dụng rộng rãi trong hàng không, điều hướng không gian, dụng cụ tự động hóa và dụng cụ y tế.