Cảm biến áp suất bán dẫn thường được sử dụng sử dụng tấm silicon loại N làm chất nền. Đầu tiên, tấm wafer silicon được chế tạo thành một bộ phận chịu ứng suất đàn hồi có hình dạng nhất định. Ở phần chịu ứng suất của tấm bán dẫn silicon, bốn điện trở khuếch tán loại P được chế tạo dọc theo các hướng tinh thể khác nhau, và sau đó một cây cầu Wheatstone bốn nhánh được hình thành với bốn điện trở này. Dưới tác dụng của ngoại lực, sự thay đổi giá trị điện trở trở thành tín hiệu điện. Cây cầu bằng đá lúa mì với hiệu ứng áp suất này là trái tim của cảm biến áp suất, thường được gọi là cầu áp điện (như trong Hình 1). Đặc điểm của cầu áp điện như sau: ① giá trị điện trở của bốn nhánh cầu bằng nhau (tất cả r0); ② Hiệu ứng áp điện của các nhánh liền kề của cầu có giá trị bằng nhau và ngược dấu; ③ Hệ số nhiệt độ điện trở của bốn nhánh cầu là như nhau và chúng luôn ở cùng nhiệt độ. Trong hình. 1, R0 là giá trị điện trở không chịu ứng suất ở nhiệt độ phòng; RT là sự thay đổi do hệ số điện trở nhiệt độ (α) gây ra khi nhiệt độ thay đổi; Υ Rδ là sự thay đổi điện trở do biến dạng (ε); Điện áp đầu ra của cầu là u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (cầu nguồn dòng không đổi).

Trong đó I0 là dòng điện nguồn không đổi và e là điện áp nguồn điện áp không đổi. Điện áp đầu ra của cầu áp điện tỷ lệ thuận với biến dạng (ε) và không liên quan gì đến RT do hệ số điện trở nhiệt độ gây ra, giúp giảm đáng kể độ lệch nhiệt độ của cảm biến. Cảm biến áp suất bán dẫn được sử dụng rộng rãi nhất là cảm biến phát hiện áp suất chất lỏng. Cấu trúc chính của nó là một viên nang làm bằng silicon đơn tinh thể (như trong Hình 2). Màng ngăn được làm thành cốc, đáy cốc là bộ phận chịu ngoại lực, cầu áp suất được làm ở đáy cốc. Bệ vòng được làm bằng cùng một vật liệu tinh thể silicon, sau đó màng ngăn được liên kết với bệ. Loại cảm biến áp suất này có ưu điểm là độ nhạy cao, khối lượng nhỏ và độ rắn chắc, đã được sử dụng rộng rãi trong ngành hàng không, điều hướng không gian, dụng cụ tự động hóa và dụng cụ y tế.