Thích hợp cho cảm biến áp suất dầu Hitachi KM11 EX200-2-3-5

Bốn công nghệ áp suất của cảm biến áp suất

1. Điện dung

Cảm biến áp suất điện dung thường được ưa chuộng bởi một số lượng lớn các ứng dụng chuyên nghiệp OEM. Phát hiện sự thay đổi điện dung giữa hai bề mặt cho phép các cảm biến này cảm nhận được áp suất cực thấp và mức độ chân không. Trong cấu hình cảm biến điển hình của chúng tôi, một vỏ nhỏ gọn bao gồm hai bề mặt kim loại cách đều nhau, song song và điện, một trong số đó về cơ bản là một cơ hoành có thể uốn cong một chút dưới áp suất. Các bề mặt cố định chắc chắn này (hoặc tấm) được gắn để sự uốn cong của lắp ráp thay đổi khoảng cách giữa chúng (thực sự tạo thành một tụ điện biến đổi). Sự thay đổi kết quả được phát hiện bằng mạch so sánh tuyến tính nhạy cảm với (hoặc ASIC), giúp khuếch đại và đưa ra tín hiệu cấp cao theo tỷ lệ.

2.CVD loại

Phương pháp sản xuất hơi hóa học (hoặc "CVD") liên kết lớp polysilicon với cơ hoành bằng thép không gỉ ở cấp độ phân tử, do đó tạo ra cảm biến với hiệu suất trôi dài hạn tuyệt vời. Các phương pháp sản xuất bán dẫn xử lý hàng loạt được sử dụng để tạo các cây cầu đo biến dạng polysilicon với hiệu suất tuyệt vời với giá rất hợp lý. Cấu trúc CVD có hiệu suất chi phí tuyệt vời và là cảm biến phổ biến nhất trong các ứng dụng OEM.

3. Loại phim phun

Sự lắng đọng phim phóng xạ (hoặc "phim") có thể tạo ra một cảm biến với tính tuyến tính, độ trễ và độ lặp lại kết hợp tối đa. Độ chính xác có thể lên tới 0,08% của quy mô đầy đủ, trong khi độ trôi dài hạn thấp tới 0,06% của quy mô đầy đủ mỗi năm. Hiệu suất phi thường của các nhạc cụ chính-cảm biến màng mỏng của chúng ta là một kho báu trong ngành cảm biến áp lực.

4.MMS loại

Các cảm biến này sử dụng cơ hoành silicon (MMS) sinh học vi mô để phát hiện thay đổi áp suất. Cơ hoành silicon được phân lập từ môi trường bởi 316Ss chứa đầy dầu và chúng phản ứng theo chuỗi áp suất chất lỏng quá trình. Cảm biến MMS áp dụng công nghệ sản xuất bán dẫn phổ biến, có thể đạt được điện áp cao, tuyến tính tốt, hiệu suất sốc nhiệt tuyệt vời và sự ổn định trong gói cảm biến nhỏ gọn.