Thích hợp cho cảm biến áp suất dầu Hitachi KM11 EX200-2-3-5

Bốn công nghệ áp suất của cảm biến áp suất

1. Điện dung

cảm biến áp suất điện dung thường được ưa chuộng bởi một số lượng lớn các ứng dụng chuyên nghiệp OEM. Việc phát hiện sự thay đổi điện dung giữa hai bề mặt cho phép các cảm biến này cảm nhận được mức áp suất và chân không cực thấp. Trong cấu hình cảm biến thông thường của chúng tôi, một vỏ nhỏ gọn bao gồm hai bề mặt kim loại cách điện, song song và gần nhau, một trong số đó về cơ bản là một màng ngăn có thể uốn cong nhẹ dưới áp lực. Các bề mặt (hoặc tấm) cố định chắc chắn này được gắn sao cho sự uốn cong của cụm làm thay đổi khe hở giữa chúng (thực tế tạo thành một tụ điện biến thiên). Sự thay đổi kết quả được phát hiện bởi một mạch so sánh tuyến tính nhạy cảm với (hoặc ASIC), mạch này khuếch đại và phát ra tín hiệu mức cao theo tỷ lệ.

2. Loại CVD

Phương pháp sản xuất lắng đọng hơi hóa học (hoặc "CVD") liên kết lớp polysilicon với màng ngăn bằng thép không gỉ ở cấp độ phân tử, nhờ đó tạo ra cảm biến có hiệu suất trôi dạt dài hạn tuyệt vời. Các phương pháp sản xuất chất bán dẫn xử lý hàng loạt thông thường được sử dụng để tạo ra các cầu đo biến dạng polysilicon với hiệu suất tuyệt vời với mức giá rất hợp lý. Cấu trúc CVD có hiệu suất chi phí tuyệt vời và là cảm biến phổ biến nhất trong các ứng dụng OEM.

3. Loại màng phún xạ

Sự lắng đọng màng phún xạ (hoặc "phim") có thể tạo ra một cảm biến có độ tuyến tính kết hợp, độ trễ và độ lặp lại tối đa. Độ chính xác có thể cao tới 0,08% toàn thang đo, trong khi độ lệch dài hạn thấp tới 0,06% toàn thang đo mỗi năm. Hiệu suất vượt trội của các thiết bị chính - cảm biến màng mỏng phún xạ của chúng tôi là báu vật trong ngành cảm biến áp suất.

4. Loại MMS

Những cảm biến này sử dụng màng chắn silicon được gia công vi mô (MMS) để phát hiện sự thay đổi áp suất. Màng silicon được cách ly khỏi môi trường bằng 316SS chứa đầy dầu và chúng phản ứng nối tiếp với áp suất chất lỏng trong quá trình. Cảm biến MMS áp dụng công nghệ sản xuất chất bán dẫn phổ biến, có thể đạt được điện trở cao, độ tuyến tính tốt, hiệu suất sốc nhiệt tuyệt vời và độ ổn định trong một gói cảm biến nhỏ gọn.