Cảm biến áp suất động cơ 2CP3-68 1946725 cho máy xúc Carter

Phương pháp chuẩn bị cảm biến áp suất, được đặc trưng bởi các bước sau:

S1, cung cấp tấm bán dẫn có bề mặt phía sau và bề mặt phía trước; Hình thành dải áp điện và vùng tiếp xúc được pha tạp nhiều trên bề mặt trước của tấm bán dẫn; Hình thành một khoang sâu áp suất bằng cách khắc bề mặt sau của tấm bán dẫn;

S2, dán tấm đỡ ở mặt sau của tấm bán dẫn;

S3, sản xuất các lỗ chì và dây kim loại ở mặt trước của tấm bán dẫn, đồng thời nối các dải áp điện để tạo thành cầu Wheatstone;

S4, lắng đọng và tạo thành lớp thụ động trên bề mặt trước của tấm bán dẫn và mở một phần của lớp thụ động để tạo thành vùng đệm kim loại. 2. Phương pháp sản xuất cảm biến áp suất theo điểm 1, trong đó S1 đặc biệt bao gồm các bước sau: S11: cung cấp tấm bán dẫn có mặt sau và mặt trước, đồng thời xác định độ dày của màng nhạy áp suất trên tấm bán dẫn; S12: cấy ion được sử dụng trên bề mặt trước của wafer, các dải áp điện được sản xuất bằng quy trình khuếch tán nhiệt độ cao và các vùng tiếp xúc được pha tạp nhiều; S13: lắng đọng và hình thành lớp bảo vệ trên bề mặt trước của tấm bán dẫn; S14: khắc và tạo thành một khoang sâu áp suất ở mặt sau của tấm bán dẫn để tạo thành một lớp màng nhạy áp lực. 3. Phương pháp sản xuất cảm biến áp suất theo điểm 1, trong đó tấm bán dẫn là SOI.

Năm 1962, Tufte và cộng sự. lần đầu tiên chế tạo cảm biến áp suất áp điện với các dải áp điện silicon khuếch tán và cấu trúc màng silicon, đồng thời bắt đầu nghiên cứu cảm biến áp suất áp điện. Vào cuối những năm 1960 và đầu những năm 1970, sự xuất hiện của ba công nghệ là công nghệ khắc dị hướng silicon, công nghệ cấy ion và công nghệ liên kết anốt đã mang lại những thay đổi lớn cho cảm biến áp suất, đóng vai trò quan trọng trong việc cải thiện hiệu suất của cảm biến áp suất. . Từ những năm 1980, với sự phát triển hơn nữa của công nghệ vi cơ, như khắc dị hướng, in thạch bản, pha tạp khuếch tán, cấy ion, liên kết và phủ, kích thước của cảm biến áp suất đã liên tục giảm, độ nhạy được cải thiện và đầu ra cao và hiệu suất là tuyệt vời. Đồng thời, việc phát triển và ứng dụng công nghệ vi cơ mới giúp độ dày màng của cảm biến áp suất được kiểm soát chính xác.