Áp dụng cho cảm biến áp suất đường ray chung nhiên liệu Passat 06E906051K

1. Phương pháp chế tạo cảm biến áp suất, bao gồm:

Đề xuất chất nền bán dẫn, trong đó lớp điện môi của lớp xen kẽ thứ nhất, lớp điện môi của lớp xen kẽ thứ nhất và lớp điện môi của lớp xen kẽ thứ hai được tạo thành trên nền bán dẫn.

Một tấm điện cực thấp hơn trong lớp điện môi giữa lớp thứ nhất, một điện cực tương hỗ thứ nhất nằm trên cùng một lớp với tấm điện cực dưới và cách xa nhau.

Kết nối các lớp;

Hình thành lớp hy sinh phía trên tấm cực dưới;

Hình thành tấm điện cực phía trên trên lớp điện môi giữa lớp thứ nhất, lớp liên kết thứ nhất và lớp hy sinh;

Sau khi tạo thành lớp hy sinh và trước khi tạo thành tấm trên, ở lớp liên kết thứ nhất

Hình thành rãnh kết nối và lấp đầy rãnh kết nối bằng tấm trên để kết nối điện với lớp kết nối đầu tiên;Hoặc,

Sau khi hình thành tấm điện cực trên, các rãnh kết nối được hình thành ở tấm điện cực trên và lớp kết nối đầu tiên,

Hình thành lớp dẫn điện nối tấm điện cực phía trên và lớp liên kết đầu tiên trong rãnh kết nối;

Sau khi nối điện tấm trên và lớp liên kết thứ nhất, loại bỏ lớp hy sinh để tạo thành khoang.

2. Phương pháp tạo ra cảm biến áp suất theo điểm 1, trong đó ở lớp thứ nhất

Phương pháp hình thành lớp hy sinh trên lớp điện môi giữa các lớp bao gồm các bước sau:

Đặt lớp vật liệu hy sinh lên lớp điện môi giữa các lớp thứ nhất;

Tạo hình lớp vật liệu hiến tế để tạo thành lớp vật tế.

3. Phương pháp tạo cảm biến áp suất theo điểm 2, trong đó sử dụng phương pháp quang khắc và khắc.

Lớp vật liệu hy sinh được tạo hình bằng quá trình khắc.

4. Phương pháp tạo thành cảm biến áp suất theo điểm 3, trong đó lớp hy sinh

Vật liệu này là cacbon vô định hình hoặc germani.

5. Phương pháp tạo thành cảm biến áp suất theo điểm 4, trong đó lớp hy sinh

Vật liệu là cacbon vô định hình;

Các khí ăn mòn sử dụng trong quá trình ăn mòn lớp vật liệu hy sinh bao gồm O2, CO, N2 và Ar;

Các thông số trong quá trình khắc lớp vật liệu hiến tế là: phạm vi dòng chảy của O2 là 18 SCCM ~ 22 SCCM và tốc độ dòng chảy của CO là 10%.

Tốc độ dòng chảy dao động từ 90 SCCM đến 110 SCCM, tốc độ dòng chảy của N2 dao động từ 90 SCCM đến 110 SCCM và tốc độ dòng chảy của Ar.

Phạm vi là 90 SCCM ~ 110 SCCM, phạm vi áp suất là 90 mtor ~ 110 mtor và công suất thiên vị là

540w～660w。