Áp dụng cho cảm biến áp suất đường sắt phổ biến của Passat Fuel 06E906051K

1. Một phương pháp hình thành cảm biến áp suất, bao gồm:

Cung cấp chất nền bán dẫn, trong đó lớp điện môi xen kẽ đầu tiên, lớp điện môi xen kẽ đầu tiên và lớp điện môi xen kẽ thứ hai được hình thành trên đế bán dẫn.

Một tấm điện cực thấp hơn trong lớp điện môi xen kẽ đầu tiên, một điện cực lẫn nhau đầu tiên nằm trên cùng một lớp với tấm điện cực thấp hơn và cách nhau.

Kết nối các lớp;

Tạo thành một lớp hy sinh phía trên tấm cực dưới;

Tạo thành một tấm điện cực trên trên lớp điện môi xen kẽ đầu tiên, lớp kết nối đầu tiên và lớp hiến tế;

Sau khi hình thành lớp hy sinh và trước khi tạo thành tấm trên, trong lớp kết nối đầu tiên

Hình thành một rãnh kết nối và lấp đầy rãnh kết nối bằng tấm trên để kết nối bằng điện với lớp kết nối đầu tiên; Hoặc,

Sau khi hình thành tấm điện cực trên, kết nối các rãnh được hình thành trong tấm điện cực trên và lớp kết nối đầu tiên

Tạo thành một lớp dẫn điện kết nối tấm điện cực trên và lớp kết nối đầu tiên trong rãnh kết nối;

Sau khi kết nối bằng điện tấm trên và lớp kết nối đầu tiên, loại bỏ lớp hy sinh để tạo thành một khoang.

2. Phương pháp hình thành cảm biến áp suất theo yêu cầu 1, trong đó trong lớp đầu tiên

Phương pháp hình thành lớp hy sinh trên lớp điện môi xen kẽ bao gồm các bước sau:

Gửi một lớp vật liệu hy sinh trên lớp điện môi xen kẽ đầu tiên;

Tạo khuôn lớp vật chất hy sinh để tạo thành một lớp hiến tế.

3. Phương pháp hình thành cảm biến áp suất theo yêu cầu 2, trong đó quang học và khắc được sử dụng.

Lớp vật liệu hy sinh được mô hình hóa bởi quá trình khắc.

4. Phương pháp hình thành cảm biến áp suất theo yêu cầu 3, trong đó lớp hy sinh

Các vật liệu là carbon vô định hình hoặc germanium.

5. Phương pháp hình thành cảm biến áp suất theo yêu cầu 4, trong đó lớp hy sinh

Các vật liệu là carbon vô định hình;

Khí khắc được sử dụng trong quá trình khắc lớp vật liệu hy sinh bao gồm O2, CO, N2 và AR;

Các tham số trong quá trình khắc lớp vật liệu hy sinh là: phạm vi dòng chảy của O2 là 18 SCCM ~ 22 SCCM và tốc độ dòng của CO là 10%.

Tốc độ dòng chảy dao động từ 90 SCCM đến 110 SCCM, tốc độ dòng N2 dao động từ 90 SCCM đến 110 SCCM và tốc độ dòng của AR.

Phạm vi là 90 SCCM ~ 110 SCCM, phạm vi áp suất là 90 mTOR ~ 110 mTOR và công suất thiên vị là

540W ～ 660W。