Cảm biến áp suất là một trong những cảm biến phổ biến hơn. Cảm biến áp suất truyền thống chủ yếu là một thiết bị có kết cấu cơ học, sự biến dạng của phần đàn hồi biểu thị áp suất. Tuy nhiên, do kích thước và trọng lượng lớn nên chúng không thể tạo ra điện.

Sự phát triển của công nghệ bán dẫn cũng dẫn đến sự xuất hiện của cảm biến áp suất bán dẫn. Nó được đặc trưng bởi kích thước nhỏ, trọng lượng nhẹ, độ chính xác cao và hiệu suất nhiệt độ tốt. Đặc biệt với sự phát triển của công nghệ MEMS, cảm biến bán dẫn ngày càng phát triển theo hướng thu nhỏ, tiêu thụ điện năng thấp và độ tin cậy cao.

Vai trò của cảm biến áp suất

1. Được sử dụng trực tiếp để đo các áp suất khác nhau: áp suất không khí, áp suất thủy lực, áp suất thủy lực (bao gồm cả áp suất thủy lực), huyết áp khác nhau trong cuộc sống hàng ngày, v.v.;

2. Cảm biến áp suất được sử dụng trên ô tô, một số loại xe máy ưu tú và hầu hết các động cơ đốt trong;

3. Mức chất lỏng: Thiết bị hiện trường được sử dụng để đo mức chất lỏng khác nhau chủ yếu là cảm biến áp suất;

4. Hầu hết các tín hiệu cân điện tử, tín hiệu cân xe đều xuất phát từ cảm biến áp suất.

Cảm biến áp suất chủ yếu được sử dụng để điều khiển và giám sát một số ứng dụng nhất định. Trong ngành công nghiệp ô tô, cảm biến áp suất MEMS chủ yếu được sử dụng để đo áp suất nhiên liệu, áp suất lốp, áp suất túi khí và áp suất đường ống. Trong lĩnh vực y sinh, cảm biến áp suất MEMS chủ yếu được sử dụng trong hệ thống chẩn đoán và phát hiện; Trong ngành hàng không vũ trụ, cảm biến áp suất MEMS chủ yếu được sử dụng để điều khiển vị trí tàu vũ trụ và tàu vũ trụ;